מידע כללי
מיקרוחישנים ומערכות מדידה-סקירה פותחת על חישנים ואקטואטורים, רכיבים אלקטרונים כחישנים, פיסיקה של מזעור (השפעת הקטנת הממדים על כוחות מכנים, אלקטרוסטטים, מגנטים ומתח פנים). העקרונות של מיקרו-עיבוד (בשטח ובגוף) ומיקרו מכניקה תואמת תהליכים של מעגלים משולבים. דוגמאות: חישני לחץ, תאוצה, אינפרה אדום תרמיים (שיקולים מערכתיים ומימוש).
פקולטה: הנדסת חשמל ומחשבים
|תואר ראשון
|תארים מתקדמים
מקצועות ללא זיכוי נוסף
48968
ספרי המקצוע
- An introduction to microelectromechanical systems engineering - Maluf, Nadim
- An introduction to microelectromechanical systems engineering - Maluf, Nadim.
- Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization - Madou, Marc J.
- Fundamentals of microfabrication and nanotechnology - Madou, Marc J.
- Introduction to microelectromechanical (MEM) microwave systems - Santos, Héctor J. de los
- Introduction to microelectromechanical microwave systems - Santos, Héctor J. de los.
- Microsystem design - Senturia, Stephen D.
- Microsystem design - Senturia, Stephen D.
- Microsystem design - Senturia, Stephen D.
- Novel advances in microsystems technologies and their applications
- Novel advances in microsystems technologies and their applications - Francis, Laurent A.
- Practical MEMS - Kaajakari, Ville
- RF MEMS : theory, design, and technology - Rebeiz, Gabriel M.
- RF MEMS circuit design for wireless communications - Santos, Héctor J. de los
- RF MEMS circuit design for wireless communications - Santos, Héctor J. de los.
- RF MEMS theory, design, and technology - Rebeiz, Gabriel M.