מידע כללי
גידול גבישים, דיפוזיה והשתלת יונים, חמצון, דיפוזיות מעבר מואצת, איכול יבש, איכול רטוב ותהליכי ניקוי, פוטוליטוגרפיה, שקוע שכבות דקות, (פולי סיליקון, אלומיניום, נחושת), טיפולים טרמים מהירים, איכול מכני-כימי, אינטגרציה ותנובה.
פקולטה: מדע והנדסה של חומרים
|תואר ראשון
מקצועות קדם
315030 - תכונות חומרים אלקטרונים
מקצועות ללא זיכוי נוסף
315015 - תהליכים במיקרואלקטרוניקה
ספרי המקצוע
- Fabrication engineering at the micro- and nanoscale / Stephen A Campbell. - Campbell, Stephen A.
- Semiconductor devices : physics and technology / S.M. Sze, M.K. Lee. - Sze, Simon M.
- Semiconductor integrated circuit processing technology / W.R. Runyan, K.E. Bean. - Runyan, W. R.
- Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf, Richard N. Tauber. - Wolf, Stanley
- Silicon VLSI technology : fundamentals, practice and modeling / James D. Plummer, Michael Deal, Peter B. Griffin. - Plummer, James D.
- ULSI technology / edited by C.Y. Chang, S.M. Sze.
- VLSI technology / edited by S. M. Sze.