מידע כללי
תהליכים פוטוליטוגרפיים, תהליכים תרמיים של חמצון יבש ורטוב, צריבה רטובה ויבשה של תחמוצות, דיפוזיה ושקוע כימי, השתלת יונים, תהליכי נידוף והתזה של שכבות דקות, הכרת אמצעי בדיקה ומדידה שונים לאפיון התהליכים. יצור התקני מוליכים למחצה שונים.
פקולטה: הנדסת חשמל ומחשבים
|תואר ראשון
מקצועות קדם
44125 - יסודות התקני מוליכים למחצה מ' או 44127 - יסודות התקני מוליכים למחצה
מקצועות ללא זיכוי נוסף
46238
ספרי המקצוע
- Fabrication engineering at the micro- and nanoscale - Campbell, Stephen A.
- Introduction to microelectronic fabrication - Jaeger, Richard C.
- Introduction to microelectronic fabrication - Jaeger, Richard C.
- Microelectronic processing : an introduction to the manufacture of integrated circuits - Ruska, W. Scot
- Physics and technology of semiconductor devices - Grove, Andrew S.
- Silicon processing for the VLSI era - Wolf, Stanley
- Silicon VLSI technology : fundamentals, practice and modeling - Plummer, James D.
- Silicon VLSI technology : fundamentals, practice and modeling - Plummer, James D.
- The science and engineering of microelectronic fabrication - Campbell, Stephen A.
- VLSI technology